ייצור שבבים ידוע כיהלום שבכתר של התעשייה המודרנית והוא גם תעשייה יוקרתית שסין מתמקדת בה.
למרות שתחומי היישום של חומרי פוליאוריטן מתרכזים בעיקר בתעשיות כמו בידוד מבנים, רהיטים ומוצרי חשמל, רכב, נעליים וביגוד, ישנו גם צל של חומרי פוליאוריטן בייצור שבבים - כמו רפידות ליטוש CMP.
CMP פותח על בסיס ליטוש כימי וליטוש מכני, אך במקביל הוא מתגבר על החסרונות של ליטוש מכני מסורתי וליטוש כימי.
ציוד CMP כולל שלושה מודולים עיקריים: ליטוש, ניקוי ותמסורת. במהלך הפעולה, ראש הליטוש לוחץ את פני הוופר המיועד לליטוש כנגד כרית הליטוש הגסה, ומשיג הרמה גלובלית בעזרת קורוזיה של נוזל ליטוש, חיכוך חלקיקים, חיכוך כרית ליטוש וכו'.
הציוד והחומרים המתכלים המשמשים בטכנולוגיית CMP כוללים: מכונת ליטוש, ליטוש סלורי, כרית ליטוש, ציוד ניקוי לאחר CMP, ציוד זיהוי נקודות קצה ובקרת תהליכים של ליטוש, ציוד לטיפול ובדיקה בפסולת וכו'.
מכונת ליטוש, רפש ליטוש ורפידת ליטוש הם שלושת המרכיבים המרכזיים של תהליך ה-CMP. הביצועים וההתאמה ההדדית שלהם קובעים את רמת החלקות של פני השטח ש-CMP יכול להשיג. בתהליך הפוליש שני החומרים החשובים ביותר הם נוזל ליטוש ורפידת ליטוש.
רפידות ליטוש CMP נדרשות להיות בעלות עמידות טובה בפני קורוזיה, הידרופיליות ותכונות מכניות. הנפוצים ביותר עשויים מקצף פוליאוריטן סלולרי קשיח עם דפוס של חריצים צרים ביחס גובה-רוחב. לפוליאוריתן יש גמישות טובה ועמידות בפני שחיקה, והוא יכול לשמור על ביצועים יציבים יחסית בפעולה של חומרי שוחקים קבועים. במקביל, במהלך תהליך הליטוש, המיקרו-נקבוביות (תכונות מכניות ותכונות ספיגת מים נקבוביות) על פני כרית הפוליאוריטן המוקצף הנוקשה יכולות לרכך ולחספס את פני כרית הליטוש, ויכולות לשמור על חלקיקים שוחקים בשטח. נוזל ליטוש.
מיקרונקבוביות אלו יכולות גם לאסוף חומרי הסרת עיבוד, להעביר נוזל ליטוש ולהבטיח קורוזיה כימית, אשר מועילה לשיפור אחידות הליטוש ויעילות הליטוש.
תגיות פופולריות: פוליאוריטן לרפידות ליטוש cmp, סין יצרנים, ספקים, מפעלים של פוליאוריטן לרפידות ליטוש cmp
