רפידות ליטוש הן אביזרי המפתח הקובעים את איכות פני השטח של פרוסות בתהליך ליטוש כימי מכני (CMP). הם מורכבים בעיקר מחומרים כגון קצף פוליאוריטן, בעלי מבנה מיקרו נקבובי ועמידות בפני שחיקה גבוהה. תפקידי הליבה שלו כוללים העברה אחידה של לחץ, אחסון נוזל ליטוש והסרה של שאריות תגובה. על ידי כוונון הקשיות, ניתן לייעל את אחידות התבנית ב-אחידות התבנית (WID) וב-שבב של הפרוסה, בהתאמה. עיצוב תבנית החריץ משפיע ישירות על יעילות ההפצה של נוזל הליטוש. החריץ הרדיאלי משפר את קצב הסרת החומר, בעוד שחריץ הטבעת מייעל את גימור פני השטח.
הביצועים של כרית הליטוש נקבעים על ידי 7 מדדי ליבה:
1.צפיפות: משפיע על מידת העיוות
2. קשיות: לווסת את יעילות הטחינה
3.עובי: קובע את אחידות הלחץ
4. דפוס חריץ: ייעול פיזור הנוזל
5. פרמטרים של חריץ: רוחב/עומק משפיעים על קיבולת האחסון
6.מפרט קוטר חיצוני: צריך להתאים לגודל הציוד
הרכב ומבנה כרית ליטוש פוליאוריטן
רפידות ליטוש פוליאוריטן משתמשות בדרך כלל בפוליאוריתן בעל ביצועים גבוהים-כחומר העיקרי. פוליאוריטן הוא סוג של פולימר מולקולרי גבוה עם גמישות טובה, עמידות בפני שחיקה ויציבות כימית.
המבנה שלו כולל בדרך כלל שכבת ליטוש ושכבת גיבוי. שכבת הליטוש נמצאת במגע ישיר עם החומר המלוטש וצריכה להיות בעלת מאפיינים מתאימים של קשיות, חספוס ונקבוביות כדי להשיג אפקט ליטוש יעיל; שכבת הגיבוי ממלאת בעיקר את התפקיד של תמיכה וקיבוע של שכבת הליטוש, תוך סיוע בהעברת לחץ ליטוש ושמירה על היציבות הכללית של כרית הליטוש.
מאפייני ביצועים של רפידות ליטוש פוליאוריטן
גמישות גבוהה: זה יכול להתאים טוב יותר לפני השטח של האובייקט המלוטש, ואפילו משטחים מעוקלים מורכבים ניתנים לליטוש אחיד, להפחית את הלחץ המקומי גדול מדי או קטן מדי במהלך תהליך הליטוש CMP, ובכך לשפר את איכות הליטוש.
עמידות בפני שחיקה גבוהה: במהלך-תהליך הליטוש לטווח ארוך, הוא יכול לשמור על צורה וביצועים משלו ואינו קל ללבישה, מה שמאריך את חיי השירות של כרית הליטוש ומפחית את עלות השימוש.
שטוחות גבוהה: זה יכול להבטיח את השטיחות של המשטח המלוטש, החיוני לעיבוד של רכיבים אופטיים-בדיוק גבוה, שבבי מוליכים למחצה וכו', ויכול לעמוד בדרישות המחמירות לדיוק פני השטח בתחומים אלה.
יציבות גבוהה: בתנאי סביבה שונים (כגון שינויי טמפרטורה ולחות וכו'), כרית הליטוש הפוליאוריתן עדיין יכולה לשמור על יציבות הביצועים שלה ולהבטיח את עקביות אפקט הליטוש.